Return to article
Исследование состава плазмы дугового разряда с полым катодом и активным Al анодом в парах гексаметилдисилазана/тетраэтоксисилана
Table 1 - Data used in calculation
Particle grade | λ, nm | A×107, s–1 | hν, eV | τ×10–9, s | σ, cm2 | A×τ |
N | 746,8 | 1,96 | 11,99 | 26,3 | 6,2×10–16 | - |
N2 | 337,1 | - | 11,1 | - | 5,5×10–18 | 0,52 |
O | 794,8 | 0,58 | 12,5 | 4 | 3×10–18 | - |
O2 | 749,4 | - | 1,63 | - | 4,6×10–18 | 0,33 |
H | 656,3 | 4,41 | 12,09 | 1,6 | 9,3×10–17 | - |
Ar | 811,5 | 3,3 | 13,07 | 3,1 | 5×10–18 | - |