Return to article

Исследование состава плазмы дугового разряда с полым катодом и активным Al анодом в парах гексаметилдисилазана/тетраэтоксисилана

Figure 1 - SEM images of the surface of SiAlCN (a) and SiAlCO (b) films

SEM images of the surface of SiAlCN (a) and SiAlCO (b) films