Return to article
Исследование состава плазмы дугового разряда с полым катодом и активным Al анодом в парах гексаметилдисилазана/тетраэтоксисилана
Figure 1 - SEM images of the surface of SiAlCN (a) and SiAlCO (b) films

Figure 1 - SEM images of the surface of SiAlCN (a) and SiAlCO (b) films
