Return to article
Исследование состава плазмы дугового разряда с полым катодом и активным Al анодом в парах гексаметилдисилазана/тетраэтоксисилана
Figure 7 - Dependences of the ratio of concentrations of aluminum ions and argon ions (NAl+/NAr+) on the discharge current (Id), crucible current (Icr), nitrogen flux (QO2) and hexamethyldisilazane flux (QTEOS) Ar+O2+Al+TEOS