Return to article
Исследование состава плазмы дугового разряда с полым катодом и активным Al анодом в парах гексаметилдисилазана/тетраэтоксисилана
Figure 4 - Dependence of the ratio of hydrogen to argon (NH656/NAr811) on the discharge current (Id), crucible current (Icr), nitrogen flux (QN2) and hexamethyldisilazane flux (QHMDS) in a mixture of Ar+N2+Al+HMDS