Return to article
Исследование состава плазмы дугового разряда с полым катодом и активным Al анодом в парах гексаметилдисилазана/тетраэтоксисилана
Figure 3 - Dependences of the degree of dissociation of nitrogen DN2 and oxygen DO2 on the discharge current (Id), crucible current (Icr), and precursor flux