Return to article

Исследование состава плазмы дугового разряда с полым катодом и активным Al анодом в парах гексаметилдисилазана/тетраэтоксисилана

Figure 1 - Optical radiation spectrum of Ar+N2+Al+HMDS (1) and Ar+O2+Al+TEOS (2) arc plasma

Optical radiation spectrum of Ar+N2+Al+HMDS (1) and Ar+O2+Al+TEOS (2) arc plasma