Рисунок 1 - Схема экспериментального стенда:

P1 – вакуумный датчик комбинированный; CV1 – вакуумная камера; VF1,2 – натекатели; PT1 – вакуумный датчик тепловой; CV2 – вакуумная камера пробных газов; P – баллон с газом+ газ. редуктор; NI1,2 – насос механический; VT1 – вакуумный затвор; VP1,2,3 – вакуумные клапана; S – масс спектрометр; Q – блок управления; PC – компьютер