Return to article
ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ ГРАНУЛОМЕТРИЧЕСКОГО СОСТАВА СТАБИЛИЗИРОВАННЫХ ПОРОШКОВ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ НА ПРОЦЕСС ФОРМОВАНИЯ СЛИТКОВ ДЛЯ ВАКУУМНО-ЛУЧЕВОГО ИСПАРЕНИЯ
Таблица 2 - Основные требования к слиткам в зависимости от типа установки
Наименование показателя | Тип установки ВЛИ | |
SL ALD | УЭ -175 | |
Высота слитков, мм | 50–250 | 100–200 |
Диаметр слитков, мм | 68–70 | 62,7–63,5 |
Плотность слитков, г/см3 | 3,6–4 | 3,6–4 |
Пористость, % | 30–40 | 30–40 |
Массовая доля Y2O3, % | 7±1 | 7±1 |
Массовая доля HfO2, не более, % | 2 | 2 |
Массовая доля Al2O3, не более, % | 0,05 | 0,08 |
Массовая доля Fe2O3, не более, % | 0,05 | 0,08 |
Массовая доля SiO2, не более, % | 0,05 | 0,05 |
Массовая доля TiO2, не более, % | 0,02 | 0,02 |