Параметр

Al2O3 (100 нм, AAO)

HEPA-фильтр

Механизм улавливания UFPs

Просеивание/перехват (для ~100нм), Диффузия (для <100нм)

Преимущественно Диффузия

MPPS (Наиболее проникающий размер частиц)

Зависит от размера пор и скорости потока; вероятно, близок к размеру пор для просеивания

~0,3 мкм

Типичная эффективность по MPPS

Потенциально очень высокая для просеивания при размере пор

99,95% – 99,97% 

Перепад давления (чистый фильтр)

Выше (например, 39-58 Па при 1 см/с для мембранных фильтров

Ниже (например, 60-250 Па

Материал

Керамика (Al2O3)

Стекловолокно, полимерные волокна

Макс. рабочая температура

Высокая (400°C+ для AAO, >1000°C для α−Al2O3)

Низкая-Умеренная (~120°C для некоторых стекловолокон, ниже для полимеров)

Химическая стойкость

Высокая (особенно α−Al2O3)

Ограниченная (полимеры чувствительны к растворителям, некоторым газам)

Удаление летучих соединений/газов

Низкое (если не функционализирован)

Низкое (требуется слой активированного угля)

Возможность регенерации

Высокая (термическая, химическая)

Обычно отсутствует (одноразовые)

Стоимость производства

Высокая

Низкая-Умеренная