Return to article
ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ СКВОЗНЫХ ОТВЕРСТИЙ В GaAs СВЧ МОНОЛИТНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМАХ В РЕАКТОРЕ С ICP-ИСТОЧНИКОМ
Моделирование плазмохимического травления:
а) схема модели; b) порядок проведения расчета
Моделирование плазмохимического травления:
а) схема модели; b) порядок проведения расчета