Вернуться к статье![Схематическое изображение магнетронной распылительной системы: 1 – постоянный магнит; 2 – медные диски; 3 – подложка; 4 – зона распыления; 5 – составная мишень (Ti:Cu)](/media/images/2023-10-15/8b30c7ad-5741-48a2-ba2d-ba0441649788.png)
Формирование и исследование мемристорных элементов на основе оксидов меди и титана с использованием магнетронной технологии
Рисунок 1 - Схематическое изображение магнетронной распылительной системы:
1 – постоянный магнит; 2 – медные диски; 3 – подложка; 4 – зона распыления; 5 – составная мишень (Ti:Cu)
![Схематическое изображение магнетронной распылительной системы: 1 – постоянный магнит; 2 – медные диски; 3 – подложка; 4 – зона распыления; 5 – составная мишень (Ti:Cu)](/media/images/2023-10-15/8b30c7ad-5741-48a2-ba2d-ba0441649788.png)