Вернуться к статье
ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕНИ ИЗОТЕРМИЧЕСКОЙ ВЫДЕРЖКИ ПРИ 600°C НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДИФФУЗИОННОГО КОНТАКТА АЛЮМИНИЙ-КРЕМНИЙ
Параметры обратной ветви ВАХ
Время, мин | Средний ток утечки при −0,1 В, мкА | Разброс тока утечки (±), мкА |
3 | 15,4 | 0,12 |
4 | 8,7 | 0,035 |
5 | 7,2 | 0,025 |
6 | 24,1 | 0,035 |