Вернуться к статье
ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕНИ ИЗОТЕРМИЧЕСКОЙ ВЫДЕРЖКИ ПРИ 600°C НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДИФФУЗИОННОГО КОНТАКТА АЛЮМИНИЙ-КРЕМНИЙ
Сводные электрофизические параметры образцов
Параметр | 3 мин | 4 мин | 5 мин (оптимум) | 6 мин (деградация) |
R стат. при I = 1 мА, Ом | 893 ± 79 | 599 ± 40 | 545 ± 15 | 674 ± 74 |
Коэффициент вариации R, % | 7,2 | 5,3 | 2,2 | 8,9 |
Ток утечки (при −0,1 В), мкА | 15,4 | 8,7 | 7,2 | 24,1 |
Средняя площадь контакта, мм² | 0,1943 | 0,2042 | 0,2061 | 0,1936 |
Приведённое R·A, Ом·см² | 1,73 | 1,22 | 1,12 | 1,31 |
