Вернуться к статье

ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕНИ ИЗОТЕРМИЧЕСКОЙ ВЫДЕРЖКИ ПРИ 600°C НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДИФФУЗИОННОГО КОНТАКТА АЛЮМИНИЙ-КРЕМНИЙ

Сводные электрофизические параметры образцов

Параметр

3 мин

4 мин

5 мин (оптимум)

6 мин (деградация)

R стат. при I = 1 мА, Ом

893 ± 79

599 ± 40

545 ± 15

674 ± 74

Коэффициент вариации R, %

7,2

5,3

2,2

8,9

Ток утечки (при −0,1 В), мкА

15,4

8,7

7,2

24,1

Средняя площадь контакта, мм²

0,1943

0,2042

0,2061

0,1936

Приведённое R·A, Ом·см²

1,73

1,22

1,12

1,31