Вернуться к статье
ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕНИ ИЗОТЕРМИЧЕСКОЙ ВЫДЕРЖКИ ПРИ 600°C НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДИФФУЗИОННОГО КОНТАКТА АЛЮМИНИЙ-КРЕМНИЙ
Обратные ветви ВАХ контакта Al–Si для режимов отжига 3, 4, 5 и 6 мин при 600 °C
Обратные ветви ВАХ контакта Al–Si для режимов отжига 3, 4, 5 и 6 мин при 600 °C