Вернуться к статье

Формирование и исследование мемристорных элементов на основе оксидов меди и титана с использованием магнетронной технологии

Рисунок 1 - Схематическое изображение магнетронной распылительной системы:

1 – постоянный магнит; 2 – медные диски; 3 – подложка; 4 – зона распыления; 5 – составная мишень (Ti:Cu)

Схематическое изображение магнетронной распылительной системы: 1 – постоянный магнит; 2 – медные диски; 3 – подложка; 4 – зона распыления; 5 – составная мишень (Ti:Cu)